激光式傳感器是20世紀60年代發展起來的一種新技術，已在高精度、非接觸、自動化及高效率等測量技術方面取得了廣泛的應用。例如，目前激光干涉測長技術已普遍應用于精密長度計量如磁尺、感應同步器、光柵的檢定;精密機床的控制、校正和集成電路制作中的精確定位等。激光具有能量集中，很好的方向性，很好的單色性，干涉能力強等特點。激光式傳感器按工作原理不同可分為三類:激光干涉傳感器、激光衍射傳感器和激光掃描傳感器，其中以激光干涉傳感器的應用居多。

這種傳感器是以光的干涉現象為基礎的。由物理學可知，波長(頻率)相同、相位相關的兩束光具有相干性，也就是說，當它們互相交疊時，會出現光強增強或減弱的現象，產生干涉條紋，利用干涉條紋隨被測長度的變化而變化的原理可實現長度計量。