實驗能力
實驗檢測能力包含磁傳感器芯片設計與制造整套設備,包括超高真空磁控濺射、真空磁場退火爐、光刻機、刻蝕機、自動探針臺、芯片分選機等設備,基于4-8英寸MEMS平臺開展磁傳感器芯片研發與量產。
完全自主的磁阻芯片加工能力:
結區邊緣形貌控制——絕緣開孔工藝——單芯片全橋工藝
擁有全套AMR、GMR、TMR芯片設計及制造技術——完整的磁阻傳感芯片生產線:
敏感材料濺射系統
材料性能測試系統(CIPT)
磁場退火爐系統
晶圓流片車間
晶圓測試系統
芯片測試系統
特點:高精度;寬頻帶;低溫漂;自主可控